本站音书，阐发企查查数据线路中微公司（688012）新获取一项发明专利授权，专利名为“一种等离子体不停安设气体供应系统”，专利苦求号为CN202011586160.0买球下单平台，授权日为2024年5月14日。

专利提要：本发明提供了一种等离子体不停安设气体供应系统，包括歧管、位于歧管岔路上的扫尾箱和位于歧管干路上的迤逦箱，诈欺迤逦箱的物态变化暴露气体管路中的气体压力。借助不同规格的存气罐，对管路中气体流量的大幅变化起到缓冲作用。在管路外壁还成立有加热安设，防护低压气体的液化导致的堵塞。同期将干路的内径增多，也起到了一定的缓冲作用。该系统不错提供暴露的气体压力均衡，抗扰智商卓著，关于捏续保捏等离子体反映时气体的比例具有显贵效力，此外，比拟从厂务端单独向反映腔接通输气管线，本发明的气体供应系统从简了本钱，缩短了厂务端的管路占地空间。

本年以来中微公司新获取专利授权66个，较旧年同期增多了4.76%。勾搭公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面干预了8.17亿元，同比增34.91%。

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